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華為2022年申請專利曝光 不靠EUV也能做2奈米晶片

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華為2022年申請專利曝光 不靠EUV也能做2奈米晶片
港媒報導,大陸科技大廠華為技術一項於2022年提交的專利,近日引發市場熱議,內容顯示該公司正開發一種無須使用極紫外光(EUV)曝光機,即可達到媲美2奈米製程的技術水準。這項消息使得外界對於華為是否在先進晶片領域,取得潛在突破的揣測,再度甚囂塵上。

香港南華早報報導,華為正致力於申請一項半導體製造的「金屬整合技術」專利。該技術允許在使用深紫外光(DUV)設備的情況下,整合極為狹窄的金屬結構,甚至能實現「小於21奈米的金屬導線間距(Metal Pitch)」,而這正是製造2奈米等級晶片所需的必要條件。

該專利提出的解決方案,旨在為利用較舊款的DUV技術,生產2奈米製程晶片提供一條技術路徑。其戰略目標顯然是為了繞過美國制裁,解決中國無法從荷蘭半導體設備大廠艾司摩爾(ASML)取得最先進EUV設備的困境,試圖在現有設備限制下尋求突圍。

根據資料顯示,這項目前仍處於審核階段的專利,最初由華為於2022年6月提交,並於2025年1月由中國國家知識產權局公開。不過,儘管專利內容具備理論可行性,目前尚無確切證據顯示該技術已實際投入商業應用或量產。

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